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电子工业专用设备

电子工业专用设备Equipment for Electronic Products Manufacturing 전자공업전용설비

期刊简介:本刊为国内外公开发行的技术性刊物,以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向,以“公布新的科技成就,传播科技信息,交流学术思想,促进科技成果的商品化、产业化,为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的办刊宗旨。发挥传媒优势,全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。

获奖情况:2001~2002年度标准化规范化部级奖,获2003~2004年度出版质量部级奖
主办单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所
主编:葛劢翀
出版周期:双月刊
语种:中文
国际刊号:1004-4507
国内刊号:62-1077/TN
影响因子:0.38
文献量:3979
被引量:12952
下载量:142446
基金论文量:165
电话:010-64443110,64655251
邮政编码:100029
地址:北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
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共有 261 篇文献
题名
作者: 赵璋 童志义年/期:2011/3被引:57 下载:288
作者: Markus klemm年/期:2010/2被引:0 下载:11
作者: Stefan Wurm年/期:2010/2被引:4 下载:258
作者: 杨洪星 刘晓伟 陈亚楠 武永超 赵权年/期:2010/2被引:9 下载:73
作者: Markus klemm年/期:2010/1被引:0 下载:6
作者: 《电子工业专用设备》编辑部年/期:2010/1被引:11 下载:373
作者: 吴娟年/期:2010/1被引:2 下载:170
作者: 屈伟平年/期:2010/1被引:9 下载:126
作者: 马建军 张崇巍年/期:2009/8被引:5 下载:161
作者: 龙绪明 王李 李鹏程 黄昊年/期:2009/5被引:8 下载:70

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